青州市中拓镀膜机械科技有限公司

真空镀膜机生产厂家为您介绍真空镀膜机特点、用途以及工作原理

2021-08-16 08:29:53

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真空镀膜机生产厂家为您介绍真空镀膜机特点、用途以及工作原理



真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,真空镀膜有很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。应用较多的是蒸发和溅射两种。蒸发镀膜和磁探溅射镀膜等真空镀膜机的特点如下:

一、对于蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

1、厚度均匀性主要取决于:A.基片材料与靶材的晶格匹配程度;B.基片表面温度;C.蒸发功率、速率;D.真空度;E.镀膜时间、厚度大小。

2、组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

3、晶向均匀性:1.晶格匹配度2.基片温度3.蒸发速率二.溅射类镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。

4、成膜温度低。钢铁行业中的热镀锌镀膜温度一般是400℃~500℃,化学镀膜温度更高达1000℃以上。这样高的温度很容易引起被镀件的变形、变质,而真空镀膜的温度低,可以降到常温,避免了常规镀膜工艺的弊端。

5、蒸发源选择自由度大。可选择的镀膜材料多而不受材料熔点限制,可镀种类众多的金属氮化膜,金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。

6、不使用有害气体、液体,对环境无不利影响。在当前越来越重视环保的大趋势下,这点极其可贵。

7、带钢镀膜质量好。能获得均匀、平滑且极薄的镀膜,镀膜纯度高,耐蚀性和附着力好。不存在热镀锌中的漏镀点、锌浪、锌花等问题。

8、工艺灵活,改变品种方便。可镀单面、双面和单层、多层及混合层。镀膜厚度易于控制。

总之,真空镀膜机带钢真空镀膜是一个集冶金、真空、化学、物理等学科于一体的高新技术,其产品具有高附加值,既有带钢的强度和廉价的特点,又有镀膜后的多功能,多品种,高质量的优点,是极具潜力的新型带钢材料的研发方向。

真空镀膜机主要用途:


现有的真空镀膜机,主要用于一些放气量较少的普通玻璃上镀膜,由于大面积有机玻璃放气量较大,热变形温度低,刚性低,因此现有的真空镀膜机无法镀制大面积有机玻璃。现有的镀膜机蒸发源间呈正方形分布,这样镀出的膜层均匀性差,无法保证大面积有机玻璃在镀制过程中不变形。为了克服现有技术之不足,提供一种真空镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与真空手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。真空镀膜系统用途:主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等实验研究与应用。


真空镀膜机的工作原理:


真空镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。本公司专业从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及优质的售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。下面,详细介绍真空镀膜机的各部分组成及其工作原理。一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢" target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。二、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用最广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

作者: 青州市中拓镀膜机械科技有限公司

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